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论文研究-基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件 .pdf 评分

基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件,李颖弢,袁鹏,本文基于与CMOS工艺完全兼容的TiOx二元金属氧化物材料,采用价格低廉的金属Al作为上下电极,制备了一种成本低廉的Al/TiOx/Al RRAM存储器��
山国武技记文在 Reset Set Forming 000图 oltage(V) 器件的特性由线 10 0 Voltage(V) 器件多可重复电阻转变特性 图给出了 器件次重复测试的曲线。从图中可以看出,器件在次 连续的扫措测试后,器件的电阻转变特性没有出现明显的退化。次重复测试中电压和 电压的分布范围比较集中。其中,电压的分布范围从到 电压的 分布范围为从到。说明 器件具有很好的可重复性操作。同时,我们也 统计了不同器件之间的 电压 电压和 电压的分布情况,如图所示,统 计结果来自个随机选择器件在直流电压扫摧模式下多次重复的数据。从图中可以看出, 不同 器件 电压的变化量为仅为 电压的变化量为 电压的变化量只有 与单个器件在多次重复操作下电压离散性相比,多个不同器件之 间电压的离散性只有小幅度的增加。说明不同器件单元的电阻转变特性具有很好的·致性。 100 s60, -forming A rese E 0.2 1 1.1V Switching voltage(V) 图不同 存储器件操作电压统计分布 山国武技记文在 (a) 103 D HRS LRS LRS Read @ o. 10°101102103 Number of cycles Time(s) 图 器什的耐受性特性 器件的数据保持特性 图()所示为 器件在恒压下的耐受性特性测试结果。测试过程中每 读一次数据。从图()可以看出, 器件高阻态和低阻态的电阻值在次连续读 取之后电阻值基木保持不变,让实了 器件的具有很好的时受性。此外,我们测试 器件在室温下的数据保持特性,如图()所小。在测试之前,首先采用直流 扫描电压分别将器件转变到或状态,然后隔一定的时间用同样的读电压( 来记录电阻值,其余时间器件处于断电状态。由图()可以看出,在经过秒后, 器件和的电阻值变化很小,证实了 器件具有很好的非挥发性。 结论 本文选取与 工艺完仝兼容的作为阻变材料,采用价格低廉的金属作为 上下电极材料,制备了成本低廉、与 工艺完全兼容的具有 简单结构的阻 变存储器件单元,通过对所制备的 器件的电阻转交特性进行测量,结果表明该结 构器件不仅具有低的操作电压,好的数据保持特性,稳定的可重复性操作,并且不同器件单 儿之间的电阻转变特性只有很好的一致性。 参考文献 electroresistance effect at metal electrode/ Lal-xSrl+xMnO4 interfaces[J]. Appl. Phys. Lett., 2006, 88(22) 山国武技记文在

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