基于湿法腐蚀的硅微通道整形技术研究,李海斌,王国政,基于湿法腐蚀原理,研究了低浓度TMAH溶液对(110)和(100)面腐蚀特性的影响,测量了不同温度和浓度下TMAH对(110)和(100)面的腐蚀�
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