论文研究-基于Labview的伺服调焦控制系统 .pdf

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基于Labview的伺服调焦控制系统 ,刘洋,熊木地,精密调焦伺服控制系统属于激光直写设备中的关键技术之一。而在激光直写设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺
国武技论文在线 http://www.papi er. edu. cn 木设计采用北京阿尔泰公司的USB2014数据采集卡,此卡具有16Bi分辨率的AD、DA 转换器。为用户提供了32路单端模拟信号输入、l6路双端的模拟输λ通道,·路模拟信号输 出。如图2为本设计系统上位机控制软件的界面 AD-,可 Front p 回回区 File Edi t Cper ate Tools Browse Window Help 应包图m世】, 减一通道 加画道 9 FirstChannel LastChamnal 02040D30U1000120 语波后通道1 PA波后通道 9 7 -3.5 36 0 2U0 aU 600 30U 10UD 1230 0001200 P 停米果 [2 7.3487 23385 始°8”21214 3 LabVIEW 7.0 D 却阿尔崇设奋测试 「未命名一画图 21:08 图2控制系统前面板 在实际测量中,除了发现探测器的暗电流和对称性的问题,还岀现模拟电路温度波动的 问题,所以在上位机 Labview控制程序中加入滤波模块,用于去除白噪声。加入PID搾制 器模块,采用模糊控制技术来解决温波的问题。整个实验结果基本符合要求,∏具有良好的 鲁棒性。 4.总结 本文详细介绍了二元直写调焦系统的检焦原理,以及如何采用 Labview实现整个系 统。借助于 Labview具有良好灵活性和可移植性,实现了信号采集和处炟。二元光学元件的 激光直写设备是集精密机械,电控,数控,计算机及激光于一体超精密光刻设备。在国防军 事,航天,医疗中将有着更广泛的应用。 参考文献 [1]熊木地肖文礼邢忠宝激光直写设备调焦伺服控制系统的研究光学精密工程 (2000.2)0120079204 [2]冯晓国孙连春临界角法探焦静态特性实验研究计量投术2005.NO3 国利技论文在线 http:/www.paperedu.cn [3]Sⅴ卜塔洛颇岁斯《密集波分复用技术导论》人民邮电出版社 4 IsalbvicJordan, V ideodisk Optical Memory System M Printed in United States of America 1995 「5乐平李海涛砀磊《 Labview程序设计与应用》(第2版) Focussing-servo system Based on Labview Yang Liu Mudi Xiong Song Dalian maritime University 116023 Changchun Institule of Optics Fine Mechanics and Physics Chinese Academy of Sciences, Changchun 130021 china Abstract The working Principle of binary optics laser direct writing device is introduced Method of high resolulion focussing servo is discussed. And the oplical writing object lens o the laser direct writing device must be / ocused in spots by u focussing-servomechanism. This paper introduces a method of implementing Jocussing-servo system. Using the tool of labview, il can be easy lo implement analyse detect and drive. The result have proved good Keywords: laser direct writing device, nanometer resulution focusing-servo mechanism; labview 刘洋:男。1981年生。硕士研究生。主要研究方向是光电信息系统数字信号处理。 熊木地男1970年生博土后副教授主要从事CNC控制,超精密伺服与计算机应用方 面的研究。 高嵩男1981年生硕士研究生

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