仿真与建模在微机电系统MEMS设计中的应用.pdf

微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域，随着建模与仿真技术的迅速发展，研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。