双芯片双采样积分器电路的MEMS电路设计.zip

与先前提出的接口电路相比，所提出的三阶噪声整形加速度计接口电路增强了信噪比。 介绍了双芯片实现的解决方案，提出了一种新型的交叉耦合相关双采样积分器。 即使在传感器和接口电路之间存在大的寄生电容，该方案也起作用。 运算放大器噪声是首先形成的。 抖动电路也在芯片上实现，采用1.6μmCMOS工艺制造。