基于ANSYS的LiTaO3薄膜红外探测器热分析,谢明君,黄大贵,本文利用有限元软件ANSYS对LiTaO3薄膜热释电红外探测器进行热分析,改变敏感元绝热层的厚度,绝热层的热导率,基底的厚度及衬底材料�
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