论文研究-原子力纳米探针与样品接触电阻研究与应用 .pdf

原子力纳米探针与样品接触电阻研究与应用，李剑，，原子力纳米探针（AFP）是用于测试单个器件的一直用有效的失效分析工具，通过与硅圆可接受测试（WAT）数据对比，可以准确判断出器件