模拟技术中的剖析硅基MEMS制造技术

上海硅知识产权交易中心 　　MEMS（微电子机械系统）技术是一种使产品集成化、微型化、智能化的微型机电系统。MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英

硅基电容式三轴加速度传感器研究（硕士论文）

毕业设计参考文献 硅基电容式三轴加速度传感器研究（硕士论文）

论文研究-硅基Mach-Zehnder光开关及阵列研究进展 .pdf

硅基Mach-Zehnder光开关及阵列研究进展，陈伟伟，王皖君，硅基光开关在高速光互连中是个不可或缺的角色。基于马赫曾德（Mach-Zehnder,MZ）结构的硅基光开关具有宽带及强抗扰等特点。文章

硅基光电子计算研究进展报告

个人整理的硅基光电子计算研究进展报告，可做参考 数十年来，人们一直在探索基于光的计算体系，期望利用光的特性，突破电子计算机的局限，从而提高计算速度和降低能耗。然而，传统光计算由于缺乏有效的逻辑、存储、

论文研究-硅基光电子调制器件研究进展 .pdf

硅基光电子调制器件研究进展，龚翰墨，李强，硅基光电子调制器件是硅光子学领域中不可或缺的部分，近年来得到学者们的关注。基于硅的非线性效应可实现对于通信波段信号光的调

硅基拉曼放大器的研究进展

硅基拉曼放大器的研究进展，刘组学，冯鸣，低成本的硅基光器件的研究具有重要的意义，而受激拉曼散射是在硅中实现光放大的有效方法。本文总结了硅波导中实现净增益和硅基拉

硅基超连续谱的研究进展

硅基超连续谱的研究进展，乔丽，冯鸣，超连续谱光源在光通讯系统中有着重要作用，特别是在波分复用系统中扮演着重要角色。硅基超连续谱器件的研制，有利于超连续谱的应

合金化对铌-硅基超高温合金组织和性能影响的研究进展*

合金化对铌-硅基超高温合金组织和性能影响的研究进展*，张松，郭喜平，本文综述了合金化元素对铌-硅基超高温合金组成相、相结构以及组织形貌的影响规律，并讨论了合金化元素在相形成方面的作用机理；�

旋转涂覆法（SOD）制备硅基多孔低k薄膜材料的研究进展

旋转涂覆法（SOD）制备硅基多孔低k薄膜材料的研究进展，殷桂琴，宁兆元，近年来, 低介电常数材料在IC工业中日益受到人们广泛关注。为了降低信号传输延迟、串扰以及由于介电损失而导致的功耗增加，要求采�

飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展

基于过饱和掺杂硅材料制备的光电探测器表现出低电压高增益、可见光到近红外波段宽光谱响应等优点,主要介绍了飞秒激光过饱和掺杂的作用机制,以及相应硅基光电探测器的国内外研究进展,具体讨论了如何提升器件响应、

硅基液晶,硅基液晶是什么意思

用先进工艺磨平后镀上铝当作反射镜，形成CMOS基板，然后将CMOS基板与含有透明电极之上的玻璃基板相贴合，再注入液晶封装而成。LCOS将控制电路放置于显示装置的后面，可以提高透光率，从而达到更大的光输

论文研究 - 硅基多结太阳能电池的性能研究

本文介绍了由Spectrolab生产的硅基多结（MJ）太阳能电池的性能研究，该技术是世界上最高效的太阳能电池，其效率已超过40％。 研究了不同环境条件下（室内和室外）太阳能电池的IV特性。 对制造的电

锂离子电池用硅负极材料的研究进展

锂离子电池用硅负极材料的研究进展，陈雪芳，黄英，硅基材料具有较高的储锂比容量，是最具潜力的下一代锂离子电池负极材料之一。然而，硅负极在充放电过程中巨大的体积效应以及较低

硅基无源光二极管的研究

硅基无源光二极管的研究，龙俊洁，俞重远，交互性传输是信息处理和信息加工的基础，光学的非交互性由于受到诸如时间反演等性质的制约，实现难度较大。本文采用有限元的方法

项目资料\提高锂离子电池硅基负极循环性能的研究

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论文研究-硅基光器件逆设计中基于GPU并行处理的高速FDFD算法 .pdf

硅基光器件逆设计中基于GPU并行处理的高速FDFD算法，郑立，董振理，本文实现了在硅基光器件逆设计中，基于GPU加速来求解电磁场的频域有限差分算法(Finite-Difference Frequenc

论文研究-硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究 .pdf

硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究，轩君，刘爱民，为研究硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性，采用籽晶辅助化学水浴沉积法：即先用磁控溅射法在P-Si(100)衬底上制备一层ZnO薄膜作为籽

硅基反铁电湿法刻蚀工艺研究

介绍了一种基于硅基的反铁电材料的湿法刻蚀工艺研究

论文研究-硅基微环中自动准相位匹配四波混频技术的仿真研究 .pdf

硅基微环中自动准相位匹配四波混频技术的仿真研究，杨盈家，徐大雄，相位匹配是影响四波混频中信号光到闲频光转换效率的关键因素，一种在硅基微环（silicon microring）中可以实现自动准相位匹配（

硅基太阳能电池与材料

：!）以非晶硅（! 123）、多晶硅和单晶硅为材 料的硅太阳能电池；*）以"1#族化合物半导体如 4.56、789 等多元化合物为材料的太阳能电池；+） 以铜铟硒（:;782<* 简写为:72）为材料

热丝CVD低温下快速制备碳化硅基硅纳米晶薄膜的研究

热丝CVD低温下快速制备碳化硅基硅纳米晶薄膜的研究，蒋继文，刘艳红， 采用热丝化学气相沉积（HWCVD--Hot Wire Chemical Vapor Deposition）技术在低温下制备碳化硅基

基础电子中的硅基半导体激光器

目前，对于单片集成光电子回路来说，最大的限制就在于缺少合适的光源，而基于化合物材料的半导体激光器由于工艺上与标准集成电路工艺不兼容，无法实现单片集成电路。所以只能选择硅作为基本材料的发光器件，即硅发光

硅基氧化锌纳米线异质结构的场发射研究

硅基氧化锌纳米线异质结构的场发射研究，许海军，廛宇飞，在无需催化剂条件下，采用热蒸发及气相传输生长技术实现了氧化锌纳米线在硅纳米孔柱阵列（Si-NPA）衬底上的生长，从而构建出ZnO/Si-NA

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基于LPIND的硅基等离子天线，刘会刚，梁达，首先介绍了 LPIND(Lateral Positive-Intrinsic-Negative Diode)及其在硅基等离子天线方面的应用，并对LPIND

蓝宝石上硅基超高速光导开关THz波辐射特性的研究

蓝宝石上硅基超高速光导开关THz波辐射特性的研究，杜忠勋，韩美瑞，本文研究了以O+离子注入的蓝宝石上硅（SOS）作为超高速光导开关的基底材料，并且用原子力显微镜探针阳极氧化加工的纳米氧化钛线作�

论文研究-基于硅基Mach-Zehnder光开关的异或/同或门 .pdf

基于硅基Mach-Zehnder光开关的异或/同或门，陈伟伟，张亚伟，光逻辑器件是实现高效数据交换与处理的关键器件。本文利用硅基载流子色散效应，采用级联基于pin电学结构的马赫曾德（Mach-Zehn

硅基氧化锌纳米薄膜异质结构的电致发光性能研究

硅基氧化锌纳米薄膜异质结构的电致发光性能研究，孙晓绮，廛宇飞，通过在P型纳米多孔硅柱状阵列（NSPA）衬底上生长N型氧化锌薄膜，从而得到ZnO/NSPA 的纳米异质结阵列。由伏安特性曲线（J-V）可以

氯金酸钠催化的选择性脱除叔丁基二甲基硅基（TBS）保护基的研究

氯金酸钠催化的选择性脱除叔丁基二甲基硅基（TBS）保护基的研究，张琦，隆磊，叔丁基二甲基硅基（TBS）是使用范围最广的一种羟基保护基，具有稳定性好、易引入、可选择性脱除等优点。目前，已报道的脱除TBS