论文研究-基于扰动观测器的固化炉温度解耦控制.pdf

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固化炉是微电子制造过程的重要设备,它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题,将最小二乘法及阶跃响应法相结合,在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型,基于扰动观测器(disturbance observer)对芯片固化炉设计了解耦控制系统,实现了不同加热板之间的解耦控制。仿真和实验结果表明,该解耦控制方法能够抑制加热板之间的耦合影响,超调和稳态误差都较小,在过程控制中的同类系统中有较好的推广应用价值。

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    2019-09-10
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