MEMS陀螺仪工作原理.pdf

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传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理,因此它主要是一个不停转动的物体,它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。
Oeek电子工程网 传感震荡方向 图二、MEMS陀螺仪的驱动和传感 图三是Z轴MEMS陀螺仪。它采用了闭合回路、数字输出和传感器芯片跟ASIC 芯片分升平放连线的封装方法。 Oeek电子工程网 Drive Loop Sensing Element. AGC internal BITE ADC converter Temperature Sensor DAC Adjustment Detection Loop( Coriolis) Sensing Element ADc Digital output converter Filter Filter SPI DAC evaluation circuit: angular rate sensor 图三、 BOSCH SMG070原理图

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