粒状多晶硅生产概况.pdf

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粒状多晶硅生产概况
MEMC Pasadena MEMC Pasadena 2 (STF) 。MEMC 0 P asadena ncle sam 08 Parade na 06 Pasadena (SAF) 画04 0.2 粒状多晶硅块状多晶硅 99.9999% 3.3 873~1073K2, 353K 1000gm 12kW·h/kg 120~160kW·h/kg 1/10 20%~40%, MEMC Pasadena 1997~2000 Fe 14 回Fe01 10 ■总金属含量 最06 Fe MEMC 244 20% 1.7 1400t Fpoo t MEMC Pasadena MEMC Pasadena (STF) MEMC P asadena ncle sam 0,4 Parade na Pasadena (SAF) 99.9999% 3.3 873~1073K 353K[4 1000gm 12kW·h/kg 120~160kW·h/kg 1/10 20%~40%, MEMC Pasadena 1997~2000 Fe 14 1.2 回Fe 1999 1.0 ■总金属含量 6.1%, CS 6.8%5。 0.6 44 1.2 998年 2000年 2001 2700 Fe MEMC F 20% 1400t 1000t 20016 ·31· 2001 F 0.2× 10 0.3×10-99。 (1) MEMC (3) ;(4) (5) (2) SiHA EMC Pasadena H H 0% MEMC (3) 1000m 40% 6~100mm7, 25%。 200 300mm (4) MEMC 150mm、200mm300mm Fe 0.3×10-90.5× 10 42) 42· 2 1995 7290 27240 8629 44200 14.9 1996 7279 29859 11488 265 48991 14.8 1997 6311 30900 9283 46856 14.95 1998 5695 27018 7296 284 40293 13.96 1999 6725 36935 972 234 53618 14 1996. MEMC L1Memc.granularpolysilicon[eb/ol].http://www.memc. com/Pasadena. nsf/Advantages? Open Page, 2000-11-16/2001 1994.3 WTO [3memc.granularpolysilicon[eb/Olj.http:/www.memc. com/Pasadena. nsf/Process? Open Page, 2000-11-16/2001-3 4] ()No.19852000 [6 George Hsu, "Silicon particle Growth in a Fluidized-Bed Reac tor", AICHE Journal, May 1987. Vol 33 No5, P784-791 7] (GB/T12963-1996) [9 Technical programs for the semiconductor equipment and ma terials industries. 2001 [10Memc.granularpolysilicon[eb/Ol].http:/www. nsf/mixed? OpenPage, 2000-11-16/ 2001-3-28 38) Kurita

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2019-09-05
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