亚波长光栅偏振分束器的研究

利用单层亚波长硅光栅结构设计出工作在近红外波段的偏振分束器。该偏振分束器在45°入射角附近对TE偏振光具有很高的反射率同时对TM偏振光具有很高的透射率，其设计原理是基于亚波长光栅的泄漏模共振效应以及类布儒斯特效应。利用散射矩阵方法和时域有限差分方法对偏振分束器进行设计和分析。模拟结果显示，该偏振分束器在1390~1600 nm的波长范围内的反射与透射消光比大于100；同时该偏振分束器具有相对较大的入射角度容差，在有限尺寸高斯光束入射下能保持很好的性能。