基于共振隧穿二极管的微加速度传感器设计

介绍了共振隧穿效应,并在此基础上利用共振隧穿二极管(RTD)设计了共振隧穿压阻式的微加速度传感器实验检测方案。对所设计的微加速度传感器进行加速度的电压输出线性度、频率响应以及不同偏压下加速度计的灵敏度等进行全面系统测试,并且进行了高低温试验、冲击响应对比分析等相关试验。研究结果为共振隧穿加速度传感器提供了全面、准确的数据,为压阻式RTD传感器的研究提供了可靠依据。