随着半导体材料和工艺的不断发展，微波/毫米波功率半导体器件的输出功率量级越来越大， L 波段功率晶体管的脉冲功率已达千瓦量级; X波段功率砷化镓场效应管连续波达到几十瓦，脉冲功率达到500W。但限于半导体的物理特性，单个固态器件的输出功率仍是有限的。采用芯片合成、电路合成及空间合成等功率合成技术将多路固态器件输出功率进行同相叠加，是获得更高输出功率的有效途径之一。
1968年Josenhans提出芯片级功率合成的概念。随后， 20世纪70年代末期， Rucker先在X波段实现了多芯片的电路功率合成，再将其扩展到40 GHz。1999年， KohjiMatsunag、IkuoMiura和N
