NaOH浓度对单晶硅的表面反射率和载流子寿命的影响

NaOH浓度对单晶硅的表面反射率和载流子寿命的影响，李嘉媛，李洪昊，本文研究了不同浓度氢氧化钠溶液对<100>晶向P型单晶硅的各向异性腐蚀特性的影响，并研究了经过不同浓度NaOH溶液刻蚀对单晶硅片的载�