基于p偏振光双面反射的薄膜传感器光学参数的优化

p偏振光在镀膜平板玻璃上、下表面反射光强比γ的角度调制曲线的性状与膜层光学参数密切相关。分析了γ与膜层折射率、消光系数及膜厚的相对梯度随光学参数变化的关系,为基于p偏振光双面反射的薄膜传感器选择最佳参数提供了理论依据,计算表明该类型传感器对膜层折射率的测量分辨率高达10-7。对不同工艺条件下得到的溶胶-凝胶SnO2膜进行光学参数测定及初步气敏实验,结果表明p偏振光双面反射可作为高灵敏度光化学传感器的检测方法。