MgO/Mg/MgO多层结构深紫外透明导电薄膜的制备

MgO/Mg/MgO多层结构深紫外透明导电薄膜的制备，颜彦，夏晓川，本文采用射频磁控溅射方法，以高纯Mg为靶材，以高纯氩气、氧气为溅射气体，在蓝宝石衬底上制备了MgO/Mg/MgO多层结构深紫外透明导电薄