磁控溅射启辉电压波动和机理

磁控溅射启辉电压波动和机理，牟宗信，邓新绿，磁控溅射沉积技术被广泛应用于沉积各种功能薄膜。深入研究其放电特性对控制沉积过程有重要意义。在磁控靶表面，和电场正交的磁场