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基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究
基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究
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基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究
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对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿问位移,梳齿问位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系
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摘 要:通过建立起重机吊重摆动的数学模型,明确吊重摆角与小车运行加减速之间的关系,并将MEMS微加速度计应用到起重机的防摇控制中,建立闭环控制系统,适时根据吊重摆角大小修正小车速度指令,实现防摇控制。实验证明,这种方法简单、经济,不需要安装视觉传感器测量吊重摆角,可以有效地消除载荷的摇动。 关键词:起重机;防摇控制;微机电系统(MEMS);微加速度计;视觉传感器 引 言
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基于海洋平台姿态监测的MEMS传感器研究,侯言,王金城,针对海洋平台的姿态监测,本文介绍了一种基于MEMS技术的SCA100T倾角传感器的设计与实现。研究了倾角传感器整体设计方案,实现了原型�
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