声表面波传感器的模拟与仿真

声表面波传感器的模拟与仿真，杨明岳，陈晨，本文以有限元法为基础，对声表面波传感器进行了建模仿真。通过模态分析，得到了SAW传感器的对称频率和反对称频率，对SAW在基底表面