探测用宽截止红外双通道帯通滤光片的设计及误差分析

为满足探测1，2丙二醇二硝酸脂有毒气体浓度的红外探测元件抑制带截止深度深、通带内平均透射比高、波纹系数小等要求，采用等效折射率理论与局部优化相结合的设计方法，选用PbTe/ZnSe作为高低折射材料，采用长波通膜系、短波通膜系以及双半波膜系设计了截止深度深、双通道、通带宽度合适的红外滤光片，通带分别为5.9～6.2 μm及11.9～12.2 μm，通带内平均透射比分别在90%及65%以上；对所设计的膜系进行了薄膜物理厚度和膜层折射率的误差分析。分析表明，薄膜制备时沉积速率精度应控制在3.5%以内，材料折射率的变化应控制在3%以内，与膜层折射率相比，薄膜物理厚度对平均透射比的影响小，并且双半波膜系对厚度以及折射率变化更敏感。