整合3DEM的Virtuoso在片上电感仿真中的应用

目前大部分电磁仿真软件在仿真片上电感时，需要从工艺库的文件中手动提取需要的相关参数；并且仿真环境的建立也比较繁琐，仿真时间也较长，这会大大降低电感的品质因数和面积的优化效率。集成了3DEM的Virtuoso可以直接选取整个版图的一部分导入仿真，而不必提取整块电感版图；并且根据工艺库文件自动生成需要的相关参数，设置仿真环境；仿真速度根据算法的优化，可以快速得到精确度很高的结果。本文将通过一个片上电感的仿真过程，介绍软件的具体应用方法。