掠射角沉积可控制ZrO2薄膜的纳米结构和光学性质

本文采用掠射角沉积（GLAD）技术通过电子束蒸发制备了纳米结构的ZrO2薄膜。 由于自阴影效应和沉积原子的有限扩散，形成了在其间具有空隙的柱状膜。 随着基底旋转速度的增加，微观结构从倾斜的柱状结构发展为螺旋形和柱形结构。 柱的直径在30-50nm的范围内。 较高的旋转速度有利于较大的结节尺寸和较大的表面粗糙度。 由于多Kong结构，GLAD ZrO2薄膜的折射率n在1.75到1.80之间变化，低于块状材料的折射率。 在倾斜的柱状结构中获得双折射的最大值（Δn = 0.03），并讨论了双折射与微观结构取向之间的关系。 我们的结果表明，掠射角沉积是设计薄膜纳米结构和光学性质的可行方法。