大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术

提出了基于600 mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法，通过像素错位误差模拟分析结果，设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台，实现了对角线接近1 m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测，并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。结果表明：拼接结果平滑，均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10-7，全口径均匀性的重复性优于4×10-8，单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10-7。