静电微泵泵膜的动态分析

静电微泵泵膜的动态分析，刘迎伟，马朝锋，采用ANSYS软件对静电无阀微泵进行有限元分析。通过适当降低泵膜厚度，提高微泵致动电压，使微泵致动频率与泵膜一阶固有频率相接近�