大面阵微镜阵列器件高能束激光三维微纳制造技术

大面阵微镜阵列器件高能束激光三维微纳制造技术，赵恒，王骏，微透镜阵列是指尺寸在微米到纳米量级的光学透镜按一定方式排列而成的阵列，是一种主要的微光学元件。飞秒激光脉冲所特有的超短脉