目前商用的干涉仪大都使用单模激光器,其相干长度可达数公里,这使得待测平面放置在距离参考面任意位買都能很容易调出干涉条纹。然而光源相干长度长并非都有益, 比如在测量平行平板前表面面形时,通常会看到前后表面形成的固定干涉条纹,使得测量无法进行,一般的解决方法是在后表面涂上消光漆或者凡士林,但它们不易擦洗且可能会影响光学表面质量。波长调谐干涉仪可以同时测得平行平板前后表面面形和材料均匀性信息,但仪器比较昂贵,尚未得到广泛应用。所以在一般的菲索干涉仪上无法测量平行平板的折射率均匀性误差和平板两个表面的绝对面形误差。本文所研究的短相干光源光程匹配动态干涉仪,可以利用光源的相干性,使待测表面通过光程差匹配满足相干条件, 从而解决条纹混叠问题,实现平行平板表面面形误差和折射率均匀性误差的绝对测量。