激光清洗阈值和损伤阈值的研究

讨论了采用波长为308nm，脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究，分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因，并对它们进行了定量性推导。