功率超声工具振幅测量方法比较 (2008年)

工具振幅是功率超声加工中的一个重要参数，对加工过程及加工效果都有着重要影响。简述目前常用的振幅测量方法与原理，分析其优缺点。给出利用显微镜观察法测量超声加工工具振幅及在线检测频率变化的简易方法。