激光会聚原子沉积技术的原子沟道化研究

所需积分/C币:5 2021-02-25 21:43:08 2.88MB PDF
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激光操纵原子技术之一的激光会聚原子沉积可以利用原子沟道化效应得到高质量的纳米级沉积结构。推导出在高斯函数二级近似下原子运动方程的解析解,通过计算模拟和比较分析,表明原子沟道化在激光会聚原子沉积中具有诸多优点。这些优点证明原子沟道化效应是激光会聚原子沉积技术的补充。

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