Al2O3薄膜对表面金字塔纳米结构多晶硅光阴极制氢性能的影响

Al2O3薄膜对表面金字塔纳米结构多晶硅光阴极制氢性能的影响，范荣磊，戴松，本文运用两步金属催化化学腐蚀的方法，在多晶硅片表面制备类金字塔的表面纳米结构以增强光的吸收。紧接着通过标准的磷掺杂工艺在