基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计

研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法：三面互检法。该方法需要三个被测平面，两两组合测量，就能够得到被测平面在通过其中心两个垂直方向的线轮廓数据。根据Matlab 和VC 混合编程思想，设计了带界面的三面互检计算软件，能够对任何一台干涉仪所采集到的实验数据进行快速计算，并进行了实验验证，得到了所测干涉仪参考平晶的绝对面形，相对于Zygo 软件计算误差为3%。