柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析

微驱动器所采用的形变材料有硅、氮化硅、聚酰亚胺。硅和氮化硅的杨氏模量太大，在有限的驱动力作用下产生的偏移小(小于10μm)，不利于在一些偏移要求大的场合使用，比如用作微泵的驱动器，要求振动膜的偏移大、冲程体积大。PDMS的柔性大、其杨氏模量只有750 kPa，能够得到较大的偏移(大于50 μm)。同时，硅橡胶的物理、化学性能均比较稳定，生物兼容性很好，可广范应用于微流控系统中。