半导体芯片制造混合调度方法 (2009年)

针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点，采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程．首先，通过遗传算法优化工件加工路径；然后，通过动态控制策略确定工件加工顺序．最后，进行仿真实验，比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果．结果表明，通过遗传算法能够得到较优化的结果．