大口径光学元件的精密检测技术

随着光学元件口径的增大, 光学系统对精度的要求提高, 传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提高制造效率, 需要适当的在线检测技术和多工段检测手段。结合现阶段系统研制的需要, 介绍了子孔径拼接干涉检测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术, 分别对其基本原理和具体应用进行了分析。