6H-SiC单晶的中子辐照损伤及其退火特性研究

用剂量为1.72×1019 n/cm2和1.67×1020 n/cm2的中子对掺氮6H-SiC单晶进行辐照，利用紫外-可见(UV-Vis)吸收光谱等方法研究了辐照引起的晶格损伤及随退火温度的回复过程。结果表明：中子辐照产生的大量缺陷使SiC的光吸收明显增加；光学带隙能随辐照剂量的增加而降低，这与禁带中引入的局域态缺陷能级有关。光吸收边出现强烈的连续吸收可能归因于辐照产生的不同类型缺陷簇或局部非晶区域的光散射。对两个剂量辐照的样品进行室温到1 600 ℃的等时退火，发现两个剂量辐照产生的晶格损伤所需的退火回复温度不同，但退火回复过程都呈现出以800 ℃为转折点的两个相同阶段。