机电系统（MEMS）是一种技术，其 一般的形式可以定义为使用微细加工技术制成的小型机械和机电元件（即设备和结构）。MEMS 器件的关键物理尺寸可能从尺寸范围下端的一微米以下到几毫米不等。同样，MEMS 装置的类型可以从没有运动元件的相对简单的结构到在集成微电子学的控制下具有多个运动元件的极其复杂的机电系统而变化。MEMS 的一个主要标准是至少有一些元件具有某种机械功能，无论这些元件是否可以移动。用于定义 MEMS 的术语在世界各地有所不同。在美国，它们主要被称为 MEMS，而在世界其他地区，它们被称为“微系统技术”或“微机械设备”。 尽管 MEMS 的功能元件是小型化的结构，传感器，致动器
