基于动态MANCOVA的混合制程虚拟测量算法

VIP专享 2021-01-18 15:57:27 384KB PDF
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在晶圆/液晶面板等批次加工过程中, 产品质量的及时估计与品质管制是提高产能和降低成本的有效途径. 针对“少量多样” 的混合制程, 利用逐步回归算法挑选该制程的关键变量, 引入产品的效益因子, 建立混合制程的虚拟测量模型; 为克服系统扰动对模型精度的影响, 以产品效益因子为状态量建立该制程的状态方程, 利用Kalman 滤波器递归估计模型参数得到动态的MANCOVA模型; 最后通过某湿式蚀刻制程的工程应用验证了该算法的有效性.

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