非检测端电极对FBAR粘度传感器的性能的影响规律探究

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非检测端电极对FBAR粘度传感器的性能的影响规律探究,刘海强,秦利锋,本文研究了非检测端电极对FBAR粘度传感器的灵敏度和品质因数Q的影响。首先对非检测端电极层/AlN压电层/检测端电极层/待测液体的四层F

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