用于光谱合束技术的透射光栅设计与优化

设计并制作了一种亚波长透射光栅, 利用该光栅实现了半导体激光阵列光谱合束。基于严格耦合波理论, 对光栅占空比、脊高和周期等进行了设计, 模拟了不同结构参数对光栅衍射效率的影响, 从而实现了光栅衍射效率的优化。理论计算表明, 优化后的光栅对940 nm激光的-1级衍射效率可达92%。实验结果表明, 激光阵列光谱合束后, 输出功率为46.2 W, 光束质量为3.9 mm·mrad。