DSP控制的薄膜微阀组集成微流体驱动系统设计

DSP控制的薄膜微阀组集成微流体驱动系统设计，王晓雨，刘兴阳，本文设计了一种基于TMS320F28335 DSP控制的微流控芯片气动微泵流体驱动系统。所设计的微流控芯片主要由气路通道、薄膜微阀和微流道三�