基于形心计算的光学预对准

基于形心计算的光学预对准，刘仁强，刘品宽，提出了一种基于形心计算的硅片光学预对准方法，分别用激光位移传感器从硅片径向测量硅片形心，用透过式激光传感器测量硅片定位凹