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双频激光干涉测长非线性误差的消除 评分:

双频激光干涉测长非线性误差的消除,侯文玫,张运波,激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免的

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2020-01-11 上传 大小:384KB
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双频激光干涉测长非线性误差的消除

双频激光干涉测长非线性误差的消除,侯文玫,张运波,激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免的

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