双频激光干涉测长非线性误差的消除

双频激光干涉测长非线性误差的消除，侯文玫，张运波，激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率，因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而，由于光学系统中不可避免的