没有合适的资源?快使用搜索试试~ 我知道了~
可制造性设计对90纳米以下设计流程的影响
1 下载量 104 浏览量
2020-12-09
15:48:31
上传
评论
收藏 129KB PDF 举报
温馨提示
试读
3页
随着工艺技术朝着90纳米以下转移,为了确保硅片的一次成功和可接受的量产良品率,对模型,工具和设计流程都提出了与以往明显不同的要求。为了充分考虑在制造过程中影响良品率的因素,如化学金属处理(CMP)、次波长光刻效应以及工艺变化敏感度,必须建立新的器件和互连模型,并进一步细化现有的器件和互连模型,以便对现有的设计方法进行扩充,创建更为精确的参数提取方法。 因为制造工艺效应对硅片电学性能的影响越来越大,所以在IC开发的早期阶段,设计者就需要对可制造性设计(DFM)技术的应用给予更多的关注。半导体厂商已经意识到如果在产品前端开发时没有充分考虑到制造工艺效果,那么就会导致后端硅片生产失败,即便在最好
资源推荐
资源评论
资源评论
weixin_38620741
- 粉丝: 1
- 资源: 909
上传资源 快速赚钱
- 我的内容管理 展开
- 我的资源 快来上传第一个资源
- 我的收益 登录查看自己的收益
- 我的积分 登录查看自己的积分
- 我的C币 登录后查看C币余额
- 我的收藏
- 我的下载
- 下载帮助
安全验证
文档复制为VIP权益,开通VIP直接复制
信息提交成功