激光诱导化学在微电子学中的应用

近年来，激光诱导的多相化学反应已作为多种新颖加工工艺，在微电子元件生产中得应用。激光诱导化学的研究本身又有助,于对固体表面光控制反应本质产生新的认识与理解。