热蒸发紫外LaF

在不同的沉积温度下，用热蒸发方法在熔融石英(JGS1)上制备了LaF3单层薄膜。分别采用分光光度计测量了薄膜样品的透射率和反射率光谱，反演得出薄膜的折射率和消光系数；采用原子力显微镜(AFM)观察了样品的表面形貌，并通过表面粗糙度计算得出总积分散射损耗；采用X射线衍射仪(XRD)测试了薄膜的晶体结构，由衍射谱图拟合得到衍射峰的半峰全宽，进而计算出薄膜晶粒的平均尺寸。实验结果表明，随着沉积温度的升高，LaF3薄膜的结晶状况明显变好，晶粒尺寸逐渐变大，膜层变得更加致密，薄膜的光学常数和折射率不均匀性均呈线性变化。沉积温度的增加对薄膜表面粗糙度的影响不明显，散射损耗在光学损耗中所占比例较小，所以光学损耗的变化主要由吸收损耗引起。