两步法合成CuInS2薄膜及其性能研究,刘伟,彭香艺,本文采用真空蒸镀法和喷雾热解法两步合成CuInS2(CIS)薄膜。先通过真空蒸镀制备出一定厚度的Cu薄膜,然后在Cu薄膜上喷雾热解InCl3和硫
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