子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究

子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究，田义，李洪玉， 建立了合适的拼接模型，讨论了子孔径拼接中的去倾斜模型，充分利用Matlab软件强大的矩阵运算能力和与Zygo干涉仪匹配的MetroPro软件处�