掺硼非晶硅薄膜性能研究

所需积分/C币:10 2020-02-23 20:44:52 299KB PDF
收藏 收藏
举报

掺硼非晶硅薄膜性能研究,朱魁鹏,吴志明,用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电阻率随

...展开详情
试读 4P 掺硼非晶硅薄膜性能研究
立即下载 低至0.43元/次 身份认证VIP会员低至7折
抢沙发
一个资源只可评论一次,评论内容不能少于5个字
weixin_38558054 如果觉得有用,不妨留言支持一下
2020-02-23
  • 分享王者

    成功上传51个资源即可获取
关注 私信 TA的资源
上传资源赚积分,得勋章
最新推荐
掺硼非晶硅薄膜性能研究 10积分/C币 立即下载
1/4
掺硼非晶硅薄膜性能研究 第1页

试读结束, 可继续读1页

10积分/C币 立即下载 >