三色激光散斑自相关法测量表面粗糙度的分析

为研究表面弯曲对利用多色散斑测量表面粗糙度的影响，引入表面曲率半径，通过模拟粗糙表面以及其形成的多色散斑场，讨论了不同曲率半径的粗糙曲面对模拟散斑场和散斑延长率的影响。结果表明，引入粗糙表面的曲率半径，对三色激光散斑自相关测量法是可行的。粗糙表面曲率半径越大，其模拟的散斑场和计算的散斑延长率与平直的粗糙表面越接近。曲率半径越大，散斑延长率愈大，并且表面粗糙度测量误差越小。因此，在实际测量中，应该考虑表面弯曲对测量粗糙度精度的影响。